Modh chun polysilicon a ullmhú.

1. Ag lódáil

Cuir an breogán Grianchloch brataithe ar an tábla malartaithe teasa, cuir amhábhar sileacain leis, ansin suiteáil trealamh teasa, trealamh inslithe agus clúdach foirnéise, aslonnaigh an foirnéis chun an brú san fhoirnéis a laghdú go 0.05-0.1mbar agus coinnigh an fholús. Tabhair isteach argón mar ghás cosanta chun an brú sa foirnéis a choinneáil go bunúsach ag thart ar 400-600mbar.

2. Téamh

Bain úsáid as téitheoir graifíte chun an comhlacht foirnéise a théamh, an chéad taise a ionsúitear ar dhromchla na gcodanna graifíte, ciseal inslithe, amhábhar sileacain, etc., a ghalú ar dtús, agus ansin teas suas go mall chun teocht an bhreogán Grianchloch a bhaint amach thart ar 1200-1300℃. Tógann an próiseas seo 4-5h.

3. Leá

Tabhair isteach argón mar ghás cosanta chun an brú sa foirnéis a choinneáil go bunúsach ag thart ar 400-600mbar. Méadaigh an chumhacht téimh de réir a chéile chun an teocht sa bhreogán a oiriúnú go dtí thart ar 1500℃, agus tosaíonn an t-amhábhar sileacain a leá. Coinnigh thart ar 1500℃le linn an phróisis leá go dtí go mbeidh an leá críochnaithe. Tógann an próiseas seo thart ar 20-22 uair an chloig.

4. Fás criostail

Tar éis an t-amhábhar sileacain a leá, laghdaítear an chumhacht téimh chun an titim breogán a dhéanamh go dtí thart ar 1420-1440℃, arb é an leáphointe sileacain. Ansin bogann an breogán Grianchloch síos de réir a chéile, nó ardaíonn an gléas inslithe de réir a chéile, ionas go bhfágann an breogán Grianchloch an crios téimh go mall agus go ndéanann sé malartú teasa leis an timpeallacht; ag an am céanna, cuirtear uisce tríd an pláta fuaraithe chun teocht an leá a laghdú ón mbun, agus déantar sileacain criostalach a fhoirmiú ar dtús ag an mbun. Le linn an phróisis fáis, fanann an comhéadan soladach-leachtach i gcónaí comhthreomhar leis an eitleán cothrománach go dtí go mbeidh an fás criostail críochnaithe. Tógann an próiseas seo thart ar 20-22 uair an chloig.

5. Annealing

Tar éis an fás criostail a bheith críochnaithe, mar gheall ar an grádán teochta mór idir bun agus barr an chriostail, féadfaidh strus teirmeach a bheith ann sa tinne, atá éasca a bhriseadh arís le linn téamh an wafer sileacain agus ullmhú na ceallraí. . Dá bhrí sin, tar éis an fás criostail a bheith críochnaithe, coimeádtar an tinne sileacain in aice leis an bpointe leá ar feadh 2-4 uair an chloig chun teocht an tinne sileacain a dhéanamh aonfhoirmeach agus an strus teirmeach a laghdú.

6. Fuarú

Tar éis an tinne sileacain a bheith annealaithe sa foirnéis, an chumhacht téimh a mhúchadh, an gléas inslithe teasa a ardú nó an tinne sileacain a ísliú go hiomlán, agus sreabhadh mór gáis argón a thabhairt isteach sa foirnéis chun teocht an tinne sileacain a laghdú de réir a chéile. teocht an tseomra; ag an am céanna, ardaíonn an brú gáis san fhoirnéis de réir a chéile go dtí go sroicheann sé brú an atmaisféir. Tógann an próiseas seo thart ar 10 uair an chloig.